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AuAg合金靶材

金银合金溅射靶材,纯度稳定,成膜均匀。

产品详情

产品规格

Au/Ag配比可调;纯度≥99.99%;直径2-6英寸;平面/旋转靶均可。

产品特性

致密度≥99%,晶粒细小,成膜均匀性好。

适用场景

半导体互连、装饰镀膜、光学器件。

注意事项

靶材安装注意绑定质量,防止冷却不良导致开裂。

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