半导体溅射靶材用高纯贵金属制品
项目背景
客户半导体镀膜工艺需要5N级高纯贵金属靶材。
解决方案
依托自有提纯产线,提供5N级金、铂、钯靶材,晶粒度与致密度双重控制。
项目成果
靶材利用率提升至85%,客户镀膜均匀性达标。
客户半导体镀膜工艺需要5N级高纯贵金属靶材。
依托自有提纯产线,提供5N级金、铂、钯靶材,晶粒度与致密度双重控制。
靶材利用率提升至85%,客户镀膜均匀性达标。
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发布于:2026年8月11日
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